Metrology for future 3D-technologies

Projektinformationen

METRO4-3D

ID Finanzhilfevereinbarung: 688225

DOI 10.3030/688225

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 25 November 2015

Startdatum 1 Februar 2016

Enddatum 31 Januar 2019

Finanziert unter

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)

Gesamtkosten € 3 349 813,75

EU-Beitrag € 2 689 035,00

Koordiniert durch

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS bietet Links zu öffentlichen Ergebnissen und Veröffentlichungen von HORIZONT-Projekten.

Links zu Ergebnissen und Veröffentlichungen von RP7-Projekten sowie Links zu einigen Typen spezifischer Ergebnisse wie Datensätzen und Software werden dynamisch von OpenAIRE abgerufen.

Leistungen

Documents, reports (5)

Report on organized training on the instrument
Report on dissemination activities
Summary of the access time on the instruments
Report 2 on dissemination activities

Report on dissemination activities

Report documenting the detailed technical specifications of the individual components

Websites, patent fillings, videos etc. (1)

Set-up of the website and strategic board

Veröffentlichungen

Peer reviewed articles (1)

Accretion Detection via Scanning Acoustic Microscopy in Microelectronic Components - Considering Symmetry Breaking Effects

Autoren: Eva Grünwald, René Hammer, Jördis Rose, Bernhard Sartory, Roland Brunner
Veröffentlicht in: Microscopy and Microanalysis, Ausgabe 23/S1, 2017, Seite(n) 1466-1467, ISSN 1431-9276
Herausgeber: Cambridge University Press
DOI: 10.1017/S1431927617007991