Nuevos conceptos en las estructuras de sensores de óxido por capas
El propósito del proyecto NANOPHOS era el de desarrollar una tecnología nueva con la que crear sensores ópticos multicapa de metal/óxido con los que detectar contaminantes y agentes gaseosos. En el proyecto se abordó una serie de cuestiones relativas al control de la contaminación atmosférica y la mejora de la salud, la seguridad y los procesos industriales. Los nuevos sensores tendrían aplicación en el procesamiento de gas natural, el almacenamiento de fármacos, la búsqueda de petróleo y gas y el control de la cadena alimentaria. Se creó una estructura multicapa mediante pulverización por magnetrón para depositar una película de óxido de metal. A continuación se depositaron óxidos de platino, paladio, oro o cinc, y silicio o cinc desde objetivos metálicos mientras se realizaba una pulverización de oxígeno/argón o argón reactivo. Durante el proceso de grabado en seco se desarrollaron máscaras duras de metal o silicio y se aplicaron con buenos resultados. El patrón deseado se desarrolló inicialmente en la máscara dura y, seguidamente, se aplicó a las multicapas de metal/óxido. La máscara protegió las zonas seleccionadas del sustrato durante el proceso. Después se retiró la máscara y se reveló la estructura de difracción subyacente. También se desarrolló un método distinto a fin de crear patrones de multicapas metal/óxido con metales refractarios difíciles de grabar. Este proceso consistió en una litografía por desprendimiento y la deposición de multicapas de metal/óxido. Durante la litografía, el sustrato se cubrió con material a fin de evitar un sobrecalentamiento durante la pulverización.
