Detección biomecánica avanzada de masas
Con la ayuda de unas técnicas y procesos nanotecnológicos novedosos, el proyecto NANOMASS II aprovechó tecnología de circuitos CMOS (semiconductor complementario de óxido de metal) para producir sensores de masa mecánicos. Estos novedosos sensores se basan en un arreglo de palancas de silicio de escala nanométrica y pueden emplearse en aplicaciones ambientales y bioquímicas. Para fabricar las nanopalancas se emplearon técnicas innovadoras de nanolitografía y sustratos novedosos de silicio sobre aislante (SOI). Para optimizar la nanolitografía se empleó un microscopio láser o de fuerza atómica (AFM). Por otra parte, se aplicó la litografía por haz de electrones y por nanoimpresión a fin de evaluar la reducción de dimensiones y el aumento de rendimiento. La introducción de los sustratos de SOI en la fabricación de semiconductores, sustituyendo los sustratos de simple silicio, mejoraría el rendimiento y reduciría las dimensiones de la palanca. Se construyeron demostradores de nanopalancas de Al (aluminio) ultrafinas y se caracterizaron de cara a aplicaciones de detección de masa. La fabricación incluyó una fase de litografía ultravioleta negativa y la caracterización se completó con la ayuda de un microscopio electrónico de barrido. El proceso de fabricación es económico y compatible con CMOS, lo que permite un control total del grosor de la palanca a escala nanométrica. En comparación con las palancas de silicio monocristalino, las nanopalancas de Al presentan una gran precisión en la detección de la masa y pueden tener aplicaciones útiles en dicho campo. Para obtener más información sobre el proyecto, consulte: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/
