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Development of technologies for smes aiming at applying thermal infrared devices for detection and imaging.

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Des capteurs infrarouges thermiques pour une détection précise des mouvements

Des capteurs thermoélectriques intégrés, installés dans des dispositifs semi-conducteur métal-oxyde complémentaire (CMOS), permettent d'envisager des applications de détection du mouvement de haute précision avec des consommations électriques relativement limitées.

Les progrès permanents des technologies de traitement ont stimulé le développement rapide de micro-capteurs intégrés, souvent intelligents, utilisant la même technologie que les circuits intégrés (IC). En particulier, l'intégration de capteurs dans les dispositifs à technologie CMOS (pour Complementary Metal-Oxide Semiconductor, ou semi-conducteur métal-oxyde complémentaire) permet de garantir des prix compétitifs grâce aux capacités de production des fabricants de circuits intégrés (IC), déjà très au fait des méthodes de production de masse à bas prix. Le projet TECH TIR, financé au titre du cinquième programme-cadre, a cherché à traiter le problème de la faible sensibilité de tels systèmes, comparée à celle des capteurs présents dans des technologies de détection spécialisées. Les recherches effectuées dans les laboratoires Elkron ont démontré la possibilité de compenser la perte de performances en intégrant en parallèle des circuits électroniques d'interface, malgré les nombreux défis liés à la conception de ces derniers. Pour ce qui est des capteurs à radiations infrarouges thermoélectriques, la technologie CMOS présente l'avantage de fournir une réponse auto-générée linéaire sans correction ni stabilisation de température. Le capteur d'ensemble infrarouge thermique peut dès lors être intégré sur une puce unique, d'où ses caractéristiques en matière d'amplification et de traitement de signal. Une telle approche permet une progression rapide en matière de miniaturisation des capteurs thermiques à infrarouges, sans aucune perte d'efficacité liée aux interférences électromagnétiques. De plus, la technologie CMOS fonctionne encore très bien à des niveaux de tension très faibles, car elle requiert très peu d'énergie. L'interface de détection extrêmement sensible des capteurs à radiations infrarouges thermoélectriques conçus et fabriqués dans le cadre du projet TECH TIR laisse entrevoir des possibilités intéressantes pour les applications de détection des mouvements. Cette approche pourrait également être utilisée pour différentes plages de longueurs d'ondes et d'autres domaines d'application.

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