La piézoélectricité, chargée de possibilités
La piézoélectricité est la charge électrique qui s'accumule dans un solide suite à l'application d'un stress mécanique. Cet effet est également réversible. La piézoélectricité peut être utilisée pour produire et détecter du son ainsi que pour générer des tensions élevées; elle est également utile dans les applications de précision comme les microbalances et les applications optiques sensibles. Pour exploiter le potentiel énorme de la piézoélectricité, le projet PIEZOVOLUME («High volume piezoelectric thin film production process for microsystems») a développé un processus de production intégré à grand volume pour les microsystèmes piézoélectriques. À l'aide d'un financement du septième programme-cadre (7e PC) de l'UE, le projet a développé une plateforme de micro-fabrication couvrant la totalité de la chaîne de production. PIEZOVOLUME s'est particulièrement concentré sur les trois principaux problèmes matériels et logiciels gênant la production de masse de microsystèmes piézo-électromécaniques (piezoMEMS). Pour faciliter et accélérer la commercialisation des résultats du projet, les partenaires ont réuni quelques fournisseurs de technologies et utilisateurs et des petites et moyennes entreprises (PME). Le projet a développé des outils et des processus spécifiques pour la fabrication à grande échelle de piezoMEMS, en plus de formuler des règles et des directives de fabrication, particulièrement pour les films minces piézoélectriques à base de titanate-zirconate de plomb (PZT). PIEZOVOLUME a également développé, testé et validé un certain nombre de technologies qui permettrait cela, dont un système d'interféromètre à double faisceau laser pour une caractérisation de plaquettes allant jusqu'à 8 pouces. Le système PIEZOVOLUME permettra aux fabricants de développer des processus de production pour une grande gamme de produits, dont des têtes d'impression à jet d'encre, des éléments optiques actifs comme les lentilles d'autofocus et les scanners, des transducteurs à ultrasons pour les capteurs à proximité et même pour l'imagerie médicale à haute fréquence. Il permettra de renforcer la compétitivité européenne en matière d'approvisionnement en équipement de production de base pour la production de films piézoélectriques.
