Un seul appareil pour l'imagerie microscopique, l'analyse et la manipulation
Les nanotechnologies consistent à fabriquer des systèmes fonctionnels de taille moléculaire. Pour progresser dans ce domaine, il faut être capable de voir, manipuler et contrôler les nanomatériaux. Le microscope électronique à balayage (MEB), qui utilise un faisceau d'électrons pour 'éclairer' l'objet étudié, existe depuis longtemps. Il permet un grossissement bien plus élevé que le microscope optique. Il offre une résolution élevée, une grande profondeur de champ et la possibilité de microanalyses. Les microscopes à faisceau d'ions focalisé (FIB), capables d'imagerie et de manipulation à l'échelle nanométrique, sont disponibles depuis peu. Au lieu d'un faisceau d'électrons, ils utilisent un faisceau d'ions (des particules chargées créées en retirant des électrons d'atomes électriquement neutres). Ils ouvrent la porte à de nouvelles études fondamentales des matériaux et utilisations en technologie. Ils sont souvent intégrés à une colonne MEB pour obtenir un système polyvalent à double faisceau. Des scientifiques européens ont développé cette technologie en intégrant un FIB à double faisceau et un microscope en champ proche (MCP). La partie FIB permet une micro structuration et la modification de surface à l'échelle nanométrique. La partie MEB apporte des possibilités d'analyse chimique et structurelle, et son association avec la partie MCP facilite la chimie et la cristallographie à l'échelle nanométrique. Le projet Fiblys («Multifunctional analytical focused ion beam tool for nanotechnology») financé par l'UE a permis de concevoir un seul instrument de structuration, de manipulation et d'analyse à l'échelle nanométrique. Le prototype final du projet associe les MEB, FIB et MCP avec des techniques d'analyse, apportant des capacités sans précédent en nanotechnologies. Le système Fiblys devrait faciliter le développement de produits et de processus totalement nouveaux en matière de nanotechnologies. Ce système deviendra certainement indispensable pour les nanotechnologies dans la recherche et l'industrie, dans divers domaines comme les biotechnologies, l'optoélectronique et les détecteurs.
