Mikroobrazowanie, analiza i obróbka w jednym urządzeniu
Nanotechnologię można określić jako inżynierię układów funkcjonalnych o wielkości atomów i cząsteczek. Aby zapewnić postępy w tej dziedzinie, naukowcy muszą mieć możliwość oglądania i kontrolowania nanomateriałów oraz manipulowania nimi. Elektronowe mikroskopy skaningowe (SEM), w których do oświetlenia obiektu używana jest wiązka elektronów, są stosowane już od wielu lat. Ta technologia umożliwia naukowcom oglądanie obiektów w nanoskali, które są niewidoczne w mikroskopach optycznych. Pozwala ona uzyskać wysoką rozdzielczość oraz dużą głębię ostrości i umożliwia mikroanalizę. W ostatnim czasie na rynku pojawiły się skaningowe mikroskopy jonowe (FIB) z możliwością obrazowania i mikroobróbki w skali nanometrycznej. Instrumenty FIB są zbliżone do instrumentów SEM, jednak zamiast wiązki elektronów zastosowano w nich wiązkę jonową (wiązkę naładowanych cząsteczek uzyskanych dzięki usunięciu elektronów z atomów neutralnych). Otwierają one drogę do badań nad materiałami elementarnymi oraz do zastosowań technologicznych, które wcześniej nie były możliwe. Często są zintegrowane z kolumnami SEM w celu uzyskania wszechstronnej platformy FIB (SEM) z użyciem dwóch wiązek. Europejscy naukowcy posunęli tę technologię o krok dalej, dzięki zintegrowaniu dwuwiązkowego instrumentu FIB (SEM) z hybrydowym mikroskopem ze skanującą sondą (SPM). Technologia FIB umożliwia mikrostrukturyzację oraz modyfikowanie powierzchni w nanoskali. Technologia SEM umożliwia zarówno analizę chemiczną, jak i strukturalną. Połączenie technologii SEM i SPM ułatwia obrazowanie chemiczne i krystalograficzne w nanoskali. Finansowany przez UE projekt Fiblys ("Multifunctional analytical focused ion beam tool for nanotechnology") umożliwił badaczom opracowanie naprawdę wyjątkowego instrumentu do nanostrukturyzacji, nanomanipulacji i nanoanalizy. Końcowy prototyp instrumentu Fiblys z uzupełniającymi się elementami technologii SEM, FIB, SPM oraz kilkoma technikami analitycznymi otwiera tym samym nanotechnologiczne możliwości, których nie oferował wcześniej żaden inny instrument. Innowacyjne rozwiązania, możliwe dzięki technologii Fiblys, powinny ułatwić projektowanie zupełnie nowych produktów i procesów związanych z nanotechnologią. System Fiblys z pewnością stanie się niezastąpionym narzędziem do zastosowań w nanotechnologii badawczej i przemysłowej w różnych dziedzinach, w tym w biotechnologii, optoelektronice i czujnikach.