Pulverización por magnetrón con control del grosor en tiempo real
El Instituto Fraunhofer de Ingeniería de Superficies y Películas Finas (Fraunhofer IST) coordinó un proyecto multimillonario de tres años de duración llamado 3RD GENLAC con el objetivo de producir la próxima generación de recubrimientos ópticos. El Fraunhofer IST está especializado en todo tipo de aplicaciones de películas finas, incluido el uso de la pulverización por magnetrón de grandes superficies. Un problema que surge del uso de objetivos cerámicos en la pulverización por magnetrón es su erosión con el paso del tiempo, que puede dar lugar a tasas de deposición poco homogéneas. Esto puede abordarse mediante una calibración frecuente, pero se pierde tiempo de producción con este proceso. Los ingenieros alemanes idearon una solución novedosa que mide y ajusta la tasa de erosión del objetivo en tiempo real. En concreto, el Fraunhofer IST usa fluorescencia por rayos X para medir la pérdida de objetivo de un cátodo corriente de pulverización plano secundario (DC) relleno de argón. Una señal XRF constante indica una corriente de salida uniforme de la principal fuente de pulverización giratoria cilíndrica. La nueva configuración es adecuada para aplicaciones de instalación arquitectónica, cuyas normas son muy estrictas en cuanto a la homogeneidad del grosor de la película, como las ventanas de baja emisividad.
