Un nouvel outil multifonctions pour la nanotechnologie
L'explosion de la nanotechnologie a une influence considérable sur divers domaines, de l'électronique organique au photovoltaïque en passant par la biomédecine. Le volume croissant et la diversité des produits mettent en exergue le besoin pressant d'un système unique, polyvalent et multimodal pour la caractérisation des nano-objets. Le projet UNIVSEM (Universal SEM as a multi-nano-analytical tool), financé par l'UE, a rapproché un groupe complémentaire de partenaires industriels et universitaires dont la synergie a donné naissance à plusieurs produits commerciaux. Jusqu'à présent, l'intégration de la microscopie à balayage (MB) et du faisceau ionique focalisé (FIF) aux compléments analytiques s'est avérée complexe. Les activités des partenaires ont permis une importante progression: l'intégration d'une sonde ionique de temps de vol (SIMS-TDV) exploitant le FIF, un microscope-sonde à balayage (MSB) sous vide poussé et offrant une large portée, et l'intégration d'un microscope Raman confocal. Par ailleurs, de nouveaux détecteurs d'électrons, un détecteur de cathodoluminescence couleur et un FIF au xénon-plasma ont été mis au point et combinés. Les résultats MB ont été améliorés. Parmi les premiers résultats du projet figuraient une technique de microscopie corrélative combinant la MB et l'imagerie Raman confocale à un microscope intégré. Cette association offre de réels avantages aux utilisateurs en ce qui concerne la caractérisation complète des échantillons. La MB est une excellente technique pour visualiser des échantillons de structures superficielles nanoscopiques. L'imagerie Raman confocale constitue une méthode spectroscopique établie pour la détection de composants chimiques et moléculaires dans un échantillon. Ce nouveau microscope a permis pour la première fois l'acquisition d'images MB et Raman de l'échantillon et la corrélation des données ultra-structurelles et chimiques. Le projet a également permis de combiner la MB, la MSB et la SIMS-TDV, offrant ainsi des possibilités d'analyse sans précédent. La SIMS-TDV offre de meilleures limites de détection, une résolution spatiale supérieure, un profil de profondeur et la possibilité de détecter des espèces isotopiques. Une mise sur le marché devrait suivre prochainement et toucher de nombreux secteurs grâce à un réseau de distribution grandissant composé de petites et moyennes entreprises. L'outil multimodal devrait stimuler le développement nanotechnologique et améliorer le contrôle qualité dans de nombreux domaines, dont la criminalistique, la géologie, la biologie et l'optoélectronique.
Mots‑clés
Outil multifonctions, analyse nanoscopique, microscopie à balayage, imagerie Raman confocale
