Erforschung fortschrittlicher Biosensoren
Die Kombination komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter (Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS) mit innovativen Nanotechnologieverfahren und -techniken war das Hauptziel des NANOMASS-Projektes. Durch Nutzung neuer Nanolithografiemethoden wurde innovative Technologie auf Grundlage eines Arrays aus Siliziumcantilevern in Nanometergröße geschaffen. Ziel der Forscher war die Umsetzung äußerst kompakter und hochsensibler mechanischer Massensensoren für Biochemie- und Umweltanwendungen. Nach Entwicklung der Prototypen wurden diese Funktionstests in einer Umweltkammer unterzogen. Es wurde ein Messsystem eingerichtet, das die Beschreibung von MEMS/NEMS (Micro-/Nano-Electro-Mechanical System) ermöglicht. Die speziell entwickelte Gaskammer arbeitet in einem großen Druck- und Temperaturbereich sowie mit unterschiedlichsten Gaszusammensetzungen und Zuständen. Die Funktionen des Systems ermöglichen die Funktionalisierung empfindlicher Systeme wie NEMS und garantieren eine zuverlässige Beschreibung äußerst komplexer Biosensoranwendungen. Das System wurde für verschiedene Funktionstests eingesetzt, um die Leistung jedes der gefertigten Cantilever zu demonstrieren. Ergebnis der Tests war unter anderem die Bestimmung der Stabilität der Cantilever-Massensensoren bei Einsatz an der Luft und im Vakuum. Die minimale Massenempfindlichkeit lag im Bereich eines Attogramms, also 10[-18] Gramm. Das steigende Interesse aus der Biotechnologieforschung ebnet den Weg für die Kommerzialisierung des Systems. Weitere Informationen zum Projekt sind abrufbar unter: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/
